一、產品名稱:工業用高純液氬
二、分 子 式:Ar
三、分 子 量:39.95
四、生產能力:6×106Nm3/a
五、產品特性:
外觀與性狀:無色、無味、無臭的惰性氣體,本身無毒,空氣中濃度高時有窒息危險。窒息癥狀表現為:最初出現呼吸加快注意力減退,肌肉運動失調,繼爾出現判斷力下降,失去所有感覺情緒不穩,全身疲乏,進而出現惡心嘔吐,意識喪失、痙攣、昏睡,以致死亡。
六、產品用途:
用于焊接,不銹鋼制造,冶煉以及半導體工業中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延擴散、多晶硅離子注入載流燒結。
七、包裝運輸:低溫液體專用運輸車輛。
八、儲存注意事項:
儲存于通風庫房,遠離火種、熱源,氣瓶應有防倒地措施。庫溫不宜超過30℃。罐區應備有泄露應急處理設備。
滅火方法:用水冷卻火中容器。用著火環境相適應的滅火劑??赡艿脑拰⑷萜鲝幕饒鲆浦量諘缣?。
九、質量標準:GB/T4842-2006
項目
|
指標
|
Ar 純度(V/V) ≥
|
99.99
|
H2 含量ppm(V/V) ≤
|
5
|
O2 含量ppm(V/V) ≤
|
10
|
N2 含量ppm(V/V) ≤
|
50
|
CH4 含量ppm(V/V) ≤
|
5
|
CO 含量ppm(V/V) ≤
|
5
|
CO2 含量ppm(V/V) ≤
|
10
|
H2O 含量ppm(V/V) ≤
|
15
|
|